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WG-8501全自動減薄機
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WG-8501全自動減薄機

支持軸向進給(In- Feed)磨削原理;設備配有在線測量儀單元,精確控制減薄厚度;配有具有自主產權的8英寸超精密空氣主軸;粗磨和精磨軌跡重合技術,有效提高減薄加工穩定性,保證加工精度;設備通過優化研磨和傳輸系統參數,可實現100μm以下精密減薄。
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產品描述
參數
關鍵特點
技術參數

技術特點
  ●支持軸向進給(In- Feed)磨削原理;
  ●設備配有在線測量儀單元,精確控制減薄厚度;
  ●配有具有自主產權的8英寸超精密空氣主軸;
  ●粗磨和精磨軌跡重合技術,有效提高減薄加工穩定性,保證加工精度;
  ●設備通過優化研磨和傳輸系統參數,可實現100μm以下精密減薄。
性能指標

全自動減薄機

WG-8501

最大加工物尺寸

中200mm

主軸

主軸數量

2

輸出功率

5.5 kW

轉速

1000-6000rpm

Z軸

行程

120mm

進給速度

0.00001 ?0.08mm/s

最大返回速度

50mm/s

分辨率

0.1pm

承片臺數量

3

工作臺轉速

0-300rpm

減薄精度

片內厚度偏差

<3|jm

片間厚度偏差

<±3|jm

表面粗糙度Ra

<0.2|jm (2000#Grinding wheel, Si)

測量儀

測量范圍

0-1800pm

分辨率

0.1pm

重復精度

±0.5pm

其他規格

外形尺寸(WxDxH)

1200mmx2760mmx1950mm

設備重量

«3800 kg

 

關鍵詞:
主軸
設備
精度
jm
厚度
加工
0.1pm
分辨率
轉速
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

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