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WG-6110自動減薄機
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WG-6110自動減薄機

同時支持深切緩進給(Creep- -Feed)和軸向進給(In- Feed)磨削原理;可選配全自動上下料系統,設備可由自動減薄設備變為全自動減薄設備;GPP行業應用優勢明顯;
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產品描述
參數
關鍵特點
技術參數

技術特點
  ●同時支持深切緩進給(Creep- -Feed)和軸向進給(In- Feed)磨削原理;
  ●可選配全自動上下料系統,設備可由自動減薄設備變為全自動減薄設備;
  ●GPP行業應用優勢明顯;
  ●高加工效率,4英寸GPP用硅晶圓UPH可達360pcs/h;
  ●節省空間的設計,占地面積僅為1.01m,兼顧小型化及高性能比。.
性能指標

自動減薄機

WG-6110

最大加工物尺寸

0156mm

主軸

主軸數量

1

輸出功率

7.5kW

轉速

1000-6000rpm

Z軸

行程

120mm

進給速度

0.00001 ~0.08mm/s

最大返回速度

50mm/s

分辨率

0.1pm

承片臺數量

4 (可定制)

工作臺轉速

0-20rpm

減薄精度

片內厚度偏差

<5|jm

片間厚度偏差

<±5|jm

表面粗糙度Ra

<0.2|jm (2000#Grinding wheel, Si)

測量儀

測量范圍

不適用

分辨率

重復精度

其他規格

夕卜形尺寸(WxDxH)

750mmx1350mmx1750mm

設備重量

«2000 kg

關鍵詞:
設備
jm
進給
主軸
分辨率
轉速
gpp
全自動
精度
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

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